LEUVEN (België) en VELDHOVEN (Nederland), Imec, ’s werelds toonaangevende onderzoeks- en innovatiehub op het vlak van nano-elektronica en digitale technologie, en ASML Holding N.V. (ASML), ’s werelds belangrijkste ontwikkelaar en leverancier van lithografiesystemen voor chipproductie, kondigen vandaag de volgende stap in hun jarenlange samenwerking aan. Het doel van de hernieuwde en intensere samenwerking is om EUV-lithografie – een veelbelovende technologie die gebruik maakt van extreem ultraviolet licht (EUV) om op een efficiëntere manier geavanceerde microchips te maken – klaar te stomen voor de bredere chipindustrie. Met deze samenwerking verstevigt imec zijn toppositie in onderzoek naar de volgende generatie chiptechnologie, wat Vlaanderen op de wereldkaart zet als innovatieve regio. En ASML kan hierdoor ook in de toekomst steunen op imec’s essentiële expertise bij de verdere realisatie van hun meest vooruitstrevende lithografiesystemen.
De samenwerking tussen ASML en imec bouwt verder op een lange traditie van gezamenlijk onderzoek. Beide organisaties zijn al bijna 30 jaar partners. En in 2014 werd de strategische samenwerking naar een hoger niveau getild met de oprichting een gemeenschappelijk onderzoekscentrum, het Advanced Patterning Center, om lithografietechnologie te optimaliseren. Die samenwerking wordt nu verder uitgebreid. In de loop van 2019 zal ASML in de imec cleanroom één van hun meest geavanceerde EUV scanners (NXE:3400B) installeren. Op die manier krijgen de imec-onderzoekers en partners toegang tot de nieuwste technologie voor EUV-lithografie. Met een vermogen van 250 Watt behaalt het toestel bovendien een lang beoogd streefdoel in productiviteit van 125 wafers (siliciumschijven waarop microchips worden geproduceerd) per uur, wat deze nieuwste generatie EUV lithografietoestellen geschikt maakt voor de massaproductie van chips. Ter vergelijking: bij de eerste generatie NXE:3300 toestellen lag het aantal wafers dat verwerkt wordt op 21 per uur. Door intensief gezamenlijke onderzoek zijn ASML en imec erin geslaagd om hier de noodzakelijke vooruitgang te boeken.
Luc Van den hove, algemeen directeur en CEO imec: “Onze ultramoderne cleanroom is één van onze grootste troeven voor de wereldwijde chipindustrie, maar om relevant te blijven is het essentieel dat we beschikken over de nieuwste, meest geavanceerde systemen. Wat betreft lithografie is ASML de onbetwistbare leider. De afgelopen jaren hebben onze onderzoekers samen baanbrekend werk geleverd om efficiënte EUV-scanners mogelijk te maken. Dat wij dit toestel nu ook in onze cleanroom ter beschikking kunnen stellen is een belangrijke meerwaarde voor onze partners en bestendigd onze relevantie voor de chipindustrie.”
Daarnaast wordt de samenwerking met ASML ook uitgebreid met een gemeenschappelijk onderzoekslab in Veldhoven. Daar zullen onderzoekers van imec en ASML experimenteren met een volgende generatie van EUV-lithografie die noodzakelijk is om de basisbouwblokken van chips, transistoren, nog kleiner te maken en dus nog krachtiger chips te bouwen dan vandaag mogelijk is. Dit onderzoek zal gebeuren op een nieuw EUV-lithografiesysteem met hogere Numerische Apertuur (NA). Omdat systemen met een hogere NA het EUV-licht vanuit een bredere invalshoek kunnen projecteren op de wafer, kunnen ze nog fijnere patronen creëren.
Martin van den Brink, President & Chief Technology Officer bij ASML: “We zijn erg verheugd om deze volgende stap te zetten in onze lange en diepe samenwerking met imec. Toegang tot de meest geavanceerde halfgeleiderlithografietools is van vitaal belang voor het verkennen en bepalen van weg naar toekomstige generaties van halfgeleiderapparaten en -toepassingen. Imec’s onderzoekers en klanten kunnen nog vele jaren zeker zijn van de meest actuele holistische lithografietechnologie. De halfgeleiderindustrie en consumenten en bedrijven over de hele wereld zullen profiteren van de vruchten van het werk van imec in het komende decennium, resulterend in voortdurende verbeteringen in de kosten en prestaties van microchips.”
Over imec
Imec is ’s werelds toonaangevende onderzoeks- en innovatiecentrum op het vlak van nano-elektronica en digitale technologie. De combinatie van onze voortrekkersrol in microchiptechnologie en onze software- en ICT-expertise maakt ons uniek. Imec beschikt over een unieke infrastructuur en een lokaal en internationaal ecosysteem van partners in diverse sectoren. Samen werken we aan baanbrekende innovatie in toepassingsdomeinen zoals gezondheidszorg, slimme steden en mobiliteit, logistiek en Industrie 4.0, energie en educatie.
Imec is een vertrouwde partner van bedrijven, start-ups en universiteiten, en brengt meer dan 4.000 topwetenschappers uit meer dan 85 landen samen. Imec heeft zijn hoofdzetel in Leuven en R&D-groepen die verspreid zijn over een aantal Vlaamse universiteiten, in Nederland, Taiwan, de VS, China, en kantoren in India en Japan. In 2017 bedroeg de bedrijfsopbrengsten van imec 546 miljoen euro. Meer informatie op www.imec-int.com.
Imec is a registered trademark for the activities of IMEC International (a legal entity set up under Belgian law as a “stichting van openbaar nut”), imec Belgium (IMEC vzw supported by the Flemish Government), imec the Netherlands (Stichting IMEC Nederland, part of Holst Centre which is supported by the Dutch Government), imec Taiwan (IMEC Taiwan Co.) and imec China (IMEC Microelectronics (Shanghai) Co. Ltd.) and imec India (Imec India Private Limited), imec Florida (IMEC USA nanoelectronics design center).
Over ASML
ASML is een van ’s werelds grootste fabrikanten van apparatuur voor het maken van chips. Onze visie is om betaalbare micro-elektronica mogelijk te maken die de kwaliteit van leven verbeteren. Om dit te bereiken is onze missie het uitvinden, ontwikkelen, produceren en onderhouden van geavanceerde technologie voor high-tech lithografie, metrologie en softwareoplossingen voor de halfgeleiderindustrie. Het leidende principe van ASML is het voortzetten van de wet van Moore naar steeds kleinere, goedkopere, krachtigere en energiezuinigere halfgeleiders. Dit resulteert in steeds krachtigere en capabele elektronica die de wereld in staat stelt om vooruitgang te boeken op een groot aantal gebieden, waaronder gezondheidszorg, technologie, communicatie, energie, mobiliteit en entertainment. ASML is een multinational met kantoren in 60 steden in 16 landen, met het hoofdkantoor in Veldhoven, Nederland. Wij hebben meer dan 19.000 mensen in dienst op de loonlijst en flexibele contracten (uitgedrukt in fulltime equivalenten). ASML wordt verhandeld op Euronext Amsterdam en NASDAQ onder het symbool ASML. Meer informatie over ASML, onze producten en technologie en carrièremogelijkheden is beschikbaar op www.asml.com.